Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ Т. 2, Технологические аспекты/М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов

Bibliographic Details
Main Authors:	Акуленок, М. В. Марина Викторовна (Author), Андреев, В. М. Владимир Михайлович (Author), Громов, Д. Г. Дмитрий Геннадьевич (Author)
Other Authors:	Коркишко, Ю. Н. (Editor)
Format:	Book
Published:	М.: БИНОМ. Лаборатория знаний 2011
Series:	Нанотехнологии
Subjects:	ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ВАКУУМТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ НАПРАВЛЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ЛИТОГРАФИЯ РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items