Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./ Т. 2, Технологические аспекты/М. В. Акуленок, В. М. Андреев, Д. Г. Громов

Bibliographic Details
Main Authors:	Акуленок, М. В. Марина Викторовна (Author), Андреев, В. М. Владимир Михайлович (Author), Громов, Д. Г. Дмитрий Геннадьевич (Author)
Other Authors:	Коркишко, Ю. Н. (Editor)
Format:	Book
Published:	М.: БИНОМ. Лаборатория знаний 2011
Series:	Нанотехнологии
Subjects:	ТОНКИЕ ПЛЕНКИ ВАКУУМТЕРМИЧЕСКОЕ ИСПАРЕНИЕ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ НАПРАВЛЕННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ЭПИТАКСИЯ КРЕМНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИЕ ПЛЕНКИ СУХОЕ ТРАВЛЕНИЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ЛИТОГРАФИЯ РЕНТГЕНОЛИТОГРАФИЯ ЭЛЕКТРОНОЛИТОГРАФИЯ УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Published: (2010)

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч./
by: Королев, М. А. Михаил Александрович, et al.
Published: (2010)

Технология полупроводниковых приборов и изделий микроэлектроники: Учебное пособие для ПТУ: В 10 кн..
by: Мартынов Валерий Владимирович, et al.
Published: (1990)

Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
by: Голишников, Александр Анатольевич
Published: (2011)

Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур: учебное пособие/
by: Битнер, Л. Р.
Published: (2010)

Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2005)

Физико-химические основы технологии электронных систем: учебное пособие/
by: Чикин, Е. В. Евгений Владимирович
Published: (2006)

Тонкие пленки и их применение в радиоизмерительной технике
by: Югов, Владимир Алексеевич
Published: (1964)

Исследование режимов получения и свойств пленок нитрида и оксинитрида кремния при ионно-рективном распылении.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включ. материалы, технолог. и спец. оборуд.: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
by: Бурдовицын, В. А. Виктор Алексеевич
Published: (1981)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Published: (2010)

Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
Published: (1994)

Исследование ионно-реактивного метода осаждения пленок нитрида кремния: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук./
by: Смирнова, К. И.
Published: (1971)

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2000)

Технология СБИС в 2 кн.
Published: (1986)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./
by: Чистяков, Ю. Д. Юрий Дмитриевич, et al.
Published: (2010)

Технология изготовления ферромагнитных пленок
by: Апокин, Игорь Алексеевич
Published: (1966)

Свойства пленок нитрида титана, полученных методом магнетронного распыления

Investigation on the microstructure, electrical and gas sensing properties of semiconducting metal oxide thin films deposited by advanced sputtering

Методы контроля макродефектов диэлектрических покрытий (По данным отечественной и зарубежной печати за 1970-1982 гг. )
Published: (1983)

Влияние режимов работы на отклик сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова

Современные технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2020)

Comparison study on the properties of the CaP coatings formed by RF-magnetron sputtering of the Mg- and Sr-substituted ß-tricalcium phosphate and hydroxyapatite

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Published: (2017)

Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Properties of gallium oxide films obtained by HF-magnetron sputtering

Ammonia sensors based on resistive structures M-SnO2:Sb-M

Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2015)

Gas sensitivity of IBSD deposited TiO2 thin films

Исследование физико-химических свойств пленок боросиликатного стекла и процессов, происходящих при электрическом пробое в системе W-БСС-Si: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.12.11/
by: Щерб, С. Ш.
Published: (1973)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Published: (2016)

Токонесущие ленты второго поколения на основе высокотемпературных сверхпроводников
Published: (2009)

Effect of short-pulsed ion irradiation on the optical and electrical properties of titanium nitride films deposited by reactive magnetron sputtering

Технологии кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2011)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Published: (2017)

Технология СБИС: Учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2007)

Свойства нанокристаллических и нанослойных твердых углеродных покрытий, полученных магнетронным распылением
by: Оскомов, Константин Владимирович

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Published: (2017)

Процессы и установки электронно-ионной технологии: учебное пособие для вузов/
by: Попов, В. Ф. Владимир Федорович, et al.
Published: (1988)

Modern Technologies for Creating the Thin-film Systems and Coatings
Published: (2017)

Свойства нанокомпозитных никель-углеродных пленок, формируемых методом магнетронного распыления