Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы. Ч.I Тенденции развития и классификация реакторов ( по данным отечественной и зарубежной печати за 1967-1977гг.) Обзоры по электронной технике. : научное издание/
| Главные авторы: | , , |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Б.м.
1978
|
| Серии: | Технология, организация производства и оборудование. Вып. 14(503)
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |