APA Цитирование

Иванов, В. В. И., Николайкин, Н., & Сигалов, Э. (1978). Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы. Ч.I Тенденции развития и классификация реакторов ( по данным отечественной и зарубежной печати за 1967-1977гг.) Обзоры по электронной технике.: научное издание.

Chicago-стиль цитирования

Иванов, В.И. Вадим Иванович, Н.И Николайкин, and Э.Б Сигалов. Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы. Ч.I Тенденции развития и классификация реакторов ( по данным отечественной и зарубежной печати за 1967-1977гг.) Обзоры по электронной технике.: научное издание. Б.м, 1978.

MLA-цитирование

Иванов, В.И. Вадим Иванович, et al. Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы. Ч.I Тенденции развития и классификация реакторов ( по данным отечественной и зарубежной печати за 1967-1977гг.) Обзоры по электронной технике.: научное издание. 1978.