Реакторы для осаждения слоев кремния из газовой фазы. Ч.I Тенденции развития и классификация реакторов ( по данным отечественной и зарубежной печати за 1967-1977гг.) Обзоры по электронной технике. : научное издание/
| Main Authors: | , , |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Б.м.
1978
|
| Series: | Технология, организация производства и оборудование. Вып. 14(503)
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 35 с |
|---|