Генерация однородной газоразрядной плазмы в несамостоятельном разряде низкого давления для модификации поверхности материалов и изделий: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
2015
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |