Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Кагадей, В. А. Валерий Алексеевич (Author), Анищенко, Е. В. Екатерина Валентиновна (Author)
Corporate Author:	Министерство образования и науки Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск: ТУСУР 2015
Edition:	2-е изд.
Subjects:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА МУРА ЗАКОН ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ ГЕТТЕРИРОВАНИЕ СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИКИ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items