Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/

Библиографическая информация
Главные авторы:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Кагадей, В. А. Валерий Алексеевич (Автор), Анищенко, Е. В. Екатерина Валентиновна (Автор)
Соавтор:	Министерство образования и науки Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск: ТУСУР 2015
Редактирование:	2-е изд.
Предметы:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА МУРА ЗАКОН ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ ГЕТТЕРИРОВАНИЕ СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИКИ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы