Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/

Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Кагадей, В. А. Валерий Алексеевич (Author), Анищенко, Е. В. Екатерина Валентиновна (Author)
Corporate Author:	Министерство образования и науки Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск: ТУСУР 2015
Edition:	2-е изд.
Subjects:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ МИКРОЭЛЕКТРОНИКА МУРА ЗАКОН ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЕ СРЕДЫ ГЕТТЕРИРОВАНИЕ СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ПОЛУПРОВОДНИКИ ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИКИ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items

Технологии кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2011)

Современные технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2020)

Технология СБИС: Учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2007)

Физические основы микротехнологии
by: Броудай, Ивор
Published: (1985)

Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2005)

Физические основы субмикронной литографии в микроэлектронике: научное издание/
by: Валиев, К. А. Камиль Ахметович, et al.
Published: (1984)

Проблемы микроэлектронной технологии Сборник статей
Published: (1994)

Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
by: Данилина, Т. И., et al.
Published: (2010)

Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС
by: Красников, Геннадий Яковлевич 1958-
Published: (1999)

Физические основы микротехнологии: Пер. с англ./
by: Броудай Ивор, et al.
Published: (1985)

Физика субмикронной литографии: научное издание/
by: Валиев Камиль Ахметович
Published: (1990)

Технологические процессы микроэлектроники: Учебное пособие/
by: Романовский, М. Н. Михаил Николаевич
Published: (2002)

Проблемы субмикронной технологии Сборник статей
Published: (1993)

Физико-химические основы технологии электронных систем: учебное пособие/
by: Чикин, Е. В. Евгений Владимирович
Published: (2006)

Технология микроэлектронных устройств: Справочник/
by: Готра, З. Ю. Зенон Юрьевич
Published: (1991)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Published: (2010)

Физико-технологические основы обеспечения качества СБИС
by: Красников, Геннадий Яковлевич 1958-
Published: (1999)

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч./
by: Королев, М. А. Михаил Александрович, et al.
Published: (2010)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./
by: Акуленок, М. В. Марина Викторовна, et al.
Published: (2011)

Легирование полупроводников ионным внедрением: Сборник статей: перевод/
Published: (1971)

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2000)

Ионное легирование полупроводников/
by: Зорин, Е. И. Евгений Иванович, et al.
Published: (1975)

Электронная промышленность научно-технический сборник : [журнал]
Published: (1970)

Ионное легирование полупроводников. (Кремний и германий): Пер. с англ./
by: Мейер, Дж, et al.
Published: (1973)

Сборник трудов. . .
Published: (1998)

Таблицы параметров пространственного распределения ионноимплантированных примесей (Теория, метод расчета, таблицы)
Published: (1980)

Ионное травление микроструктур: научное издание/
by: Данилин Борис Степанович, et al.
Published: (1979)

Технология ионного легирования: Пер. с яп./
Published: (1974)

Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/
by: Альтудов, Ю. К. Юрий Камбулатович, et al.
Published: (2001)

Конструктивно-технологические решения для создания кварцевого чувствительного элемента акселерометра с повышенной температурной стабильностью нулевого сигнала: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 2.2.2/
by: Харламов, М. С. Максим Сергеевич
Published: (2022)

Background donor concentration in HgCdTe

Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур: учебное пособие/
by: Битнер, Л. Р.
Published: (2010)

Физические основы микро- и наноэлектроники: учебное пособие/
by: Парфенова, Е. Л. Елена Леонидовна, et al.
Published: (2012)

Исследование электрических характеристик транзисторных структур, изготоаленных по биполярной технологии с использованием геттерирования
by: Жолудев, Г. К.

Ion implantation and ion milling in MBE Hg1-xCdxNe films

Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 05.27.06/
by: Вертянов, Д. В. Денис Васильевич
Published: (2020)

Базовые технологии микро- и наноэлектроники учебное пособие : [для студентов специальности 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника"
by: Воротынцев, Владимир Михайлович
Published: (2018)

Приповерхностное протонно-ионное легирование оптических силикатных стекол Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук. 05.17.11
by: Иголинская, Марина Александровна
Published: (1995)

Современные технологии в микроэлектронике электронный курс
by: Юрьева, А. В. специалист в области водородной энергетики и плазменных технологий ассистент Томского политехнического университета 1983-
Published: (2014)

Long-term stability of electron concentration in HgCdTe-based p-n junctions fabricated with ion etching