Физические основы микро- и наносистемной техники: методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиль "Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике"/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск
2015
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |