Мухачев, В. А. (2015). Физические основы микро- и наносистемной техники: методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиль "Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике".
Chicago Style (17th ed.) CitationМухачев, В. А. Физические основы микро- и наносистемной техники: методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиль "Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике". Томск, 2015.
MLA (8th ed.) CitationМухачев, В. А. Физические основы микро- и наносистемной техники: методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиль "Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике". 2015.