Мухачев, В. А. (2015). Физические основы микро- и наносистемной техники: методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиль "Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике".
Chicago-стиль цитированияМухачев, В. А. Физические основы микро- и наносистемной техники: методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиль "Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике". Томск, 2015.
MLA-цитированиеМухачев, В. А. Физические основы микро- и наносистемной техники: методические указания по выполнению лабораторных работ для студентов направления 222900.62 "Нанотехнологии и микросистемная техника", профиль "Нанотехнологии в электронике и микросистемной технике". 2015.