Импульсный биполярный источник питания для магнетронных распылительных систем: дисс. на соиск. ученой степ. канд. технических наук. Спец. 05.09.12 - Силовая электроника/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
