Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур: учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Author:	Битнер, Л. Р. (Author)
Corporate Author:	Минобрнауки России(М.)21 Российская корпорация нанотехнологий21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск: ТУСУР 2010
Subjects:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА ПОЛИМЕРЫ ТРАВЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИКИ ФИЗИКА ХИМИЯ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items