Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур: учебное пособие/

Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур: учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Author:	Битнер, Л. Р. (Author)
Corporate Author:	Минобрнауки России(М.)21 Российская корпорация нанотехнологий21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск: ТУСУР 2010
Subjects:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА ПОЛИМЕРЫ ТРАВЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИКИ ФИЗИКА ХИМИЯ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2000)

Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
by: Голишников, Александр Анатольевич
Published: (2011)

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
by: Данилин, Борис Степанович
Published: (1987)

Проблемы микроэлектронной технологии: сборник научных трудов/
Published: (1994)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./
by: Акуленок, М. В. Марина Викторовна, et al.
Published: (2011)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Published: (2010)

Влияние режимов горения дугового разряда низкого давления и генерируемой им газоразрядной плазмы на травление поверхности материалов

Проблемы микроэлектронной технологии Сборник статей
Published: (1994)

Физика и технология тонких пленок учебное пособие : [для студентов высших учебных заведений, обучающихся по специальности 210104 "Микроэлектроника и твердотельная электроника"]
by: Аверин, Игорь Александрович
Published: (2009)

Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04/
by: Филлипов, И. А. Иван Андреевич
Published: (2020)

Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.04/
by: Филлипов, И. А. Иван Андреевич
Published: (2020)

Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике"
Published: (2011)

Физико-химические основы технологии электронных систем: учебное пособие/
by: Чикин, Е. В. Евгений Владимирович
Published: (2006)

Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
by: Голишников, Александр Анатольевич
Published: (2011)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Published: (2016)

Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
by: Голишников, Александр Анатольевич
Published: (2011)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
by: Галперин, Вячеслав Александрович
Published: (2010)

Свойства пленок нитрида титана, полученных методом магнетронного распыления

Плазменное травление в технологии InAlN/GaN HEMT

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Published: (2016)

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
Published: (1982)

Влияние режимов работы на отклик сенсоров аммиака на основе пленок диоксида олова

Оптимизация скорости травления Si в плазме CF4/O2
by: Григорьев, Юрий Николаевич

Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
by: Таран, Владимир Маркович
Published: (1987)

Comparison study on the properties of the CaP coatings formed by RF-magnetron sputtering of the Mg- and Sr-substituted ß-tricalcium phosphate and hydroxyapatite

Неравновесная плазма хлора свойства и применение
by: Ефремов, Александр Михайлович
Published: (2012)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Published: (2017)

Investigation on the microstructure, electrical and gas sensing properties of semiconducting metal oxide thin films deposited by advanced sputtering

Ammonia sensors based on resistive structures M–SnO2:Sb–M

Свойства пленок молибдена, формируемых методом сильноточного импульсного магнетронного распыления

Gas sensitivity of IBSD deposited TiO2 thin films

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Published: (2017)

Закономерности формирования пленок оксинитридов титана методом магнетронного распыления, их структурные особенности и свойства диссертация на соискание учёной степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Сунь Чжилэй, физик инженер-исследователь Томского политехнического университета 1992-
Published: (2020)

Основы конструирования и технологии производства радиоэлектронных средств. Ионно-плазменные технологии учебник для бакалавриата и магистратуры
Published: (2016)

Взаимодействие водорода с тонкой плёнкой Al[2]O[3] на нанокристаллическом титане диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Сыпченко, В. С. физик доцент Томского политехнического университета, кандидат наук 1987-
Published: (2016)

Исследование индукционного разряда низкого давления как активной среды в технологии получения тонких пленок.Спец.05.12.10-Вакуумная и газоразрядная электроника, включая материалы, технологию и спец.оборудование: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. На правах рукописи/
by: Беркин, А. Б. Александр Борисович
Published: (1982)

Полупроводниковые материалы и их применение: сборник/
Published: (1977)

Нагрев нейтральной компоненты плазмы тлеющего разряда в потоке молекулярных газов при средних давлениях Автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук. 01.04.08
by: Филатова, Ирина Ивановна
Published: (1994)

Взаимодействие водорода с тонкой плёнкой Al[2]O[3] на нанокристаллическом титане автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
by: Сыпченко, В. С. физик доцент Томского политехнического университета, кандидат наук 1987-
Published: (2016)

Высокоскоростное осаждение покрытий на основе соединений хрома и азота с использованием плазмы магнетронных распылительных систем автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 1.3.8
by: Грудинин, В. А. физик инженер Томского политехнического университета 1995-
Published: (2022)