Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур: учебное пособие/

Библиографическая информация
Главный автор:	Битнер, Л. Р. (Автор)
Соавтор:	Минобрнауки России(М.)21 Российская корпорация нанотехнологий21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Формат:	Книга
Язык:	Russian
Публикация:	Томск: ТУСУР 2010
Предметы:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ НИЗКОТЕМПЕРАТУРНАЯ ПЛАЗМА ПОЛИМЕРЫ ТРАВЛЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ МАТЕРИАЛОВ ТОНКИЕ ПЛЕНКИ МАГНЕТРОННОЕ РАСПЫЛЕНИЕ ДИЭЛЕКТРИКИ ФИЗИКА ХИМИЯ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы