Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск:
ТУСУР
2010
|
| Series: | Технология и оборудование наноэлектроники
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |