Пропуск в контексте
  • Язык
    • English
    • Русский

Расширенный поиск
  • Поиск
  • Оборудование для создания и ис...
  • Цитировать
  • Печать
  • Запись для экспорта
    • Экспорт в RefWorks
    • Экспорт в EndNoteWeb
    • Экспорт в EndNote
  • Permanent link
Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/

Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/

Показать другие варианты (1)
Библиографическая информация
Главные авторы: Данилина, Т. И. (Автор), Чистоедова, И. А. (Автор)
Соавтор: Минобрнауки России(М.)21 Российская корпорация нанотехнологий21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск: ТУСУР 2010
Серии:Технология и оборудование наноэлектроники
Предметы:
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
НАНОЛИТОГРАФИЯ
ИОННЫЕ ПУЧКИ
ЗОНДОВАЯ МИКРОСКОПИЯ
ОПТИЧЕСКАЯ ЛИТОГРАФИЯ
НАНОПЕЧАТЬ
ТРАВЛЕНИЕ
ОСАЖДЕНИЕ
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
  • Фонды
  • Описание
  • Другие варианты (1)
  • Похожие документы
  • Marc-запись
Описание
Объем:109 с.: a-рис.
Библиография:Библиогр.: с. 107

Похожие документы

  • Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
    Публикация: (2011)
  • Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
    Публикация: (2005)
  • Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
    Публикация: (2015)
  • Методы нанолитографии достижения и перспективы
    Публикация: (2008)
  • Современные технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
    Публикация: (2020)
|   Расширенный поиск   |   Советы для поиска   |

Большой университет Томска
https://university-tomsk.ru/
Загрузка...