Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск:
ТУСУР
2010
|
| Серии: | Технология и оборудование наноэлектроники
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
