Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.04/

Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.04/

Bibliographic Details
Main Author:	Филлипов, И. А. Иван Андреевич (Author)
Corporate Author:	Национальный исследовательский Томский государственный университет(Томск)21 Институт нанотехнологий микроэлектроники Российской академии наук(Москва)
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск 2020
Subjects:	ПЛАЗМЕННОЕ ТРАВЛЕНИЕ ТРАНЗИСТОРЫ УЗКОНАПРАВЛЕННОЕ ИЗЛУЧЕНИЕ НАПРЯЖЕНИЕ ТРАВЛЕНИЕ
Online Access:	https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01010255023?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items

Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04/
by: Филлипов, И. А. Иван Андреевич
Published: (2020)

Плазменное травление в технологии InAlN/GaN HEMT

Применение низкотемпературной плазмы для травления и очистки материалов
by: Данилин, Борис Степанович
Published: (1987)

Процессы плазменного травления в микро- и нанотехнологиях [учебное пособие для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлению подготовки 210100 "Электроника и микроэлектроника"]
by: Галперин, Вячеслав Александрович
Published: (2010)

Исследование омических контактов НЕМТ транзисторов на основе GaN: диссертация ... кандидата технических наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/
by: Сим, П. Е. Павел Евгеньевич
Published: (2018)

Оптимизация скорости травления Si в плазме CF4/O2
by: Григорьев, Юрий Николаевич

Влияние режимов горения дугового разряда низкого давления и генерируемой им газоразрядной плазмы на травление поверхности материалов

Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур: учебное пособие/
by: Битнер, Л. Р.
Published: (2010)

Учебно-методическое пособие для самостоятельной работы студентов по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
by: Голишников, Александр Анатольевич
Published: (2011)

Примерная программа учебной дисциплины "Плазменные технологии в наноэлектронике"
Published: (2011)

Физико-химические методы обработки поверхности полупроводников
Published: (1982)

Плазмохимическое и ионно-химическое травление микроструктур: научное издание/
by: Киреев, В. Ю. Валерий Юрьевич, et al.
Published: (1983)

Способ безрезистного травления пленок диоксида кремния в «окнах» фотолитографического рисунка
by: Гудымович, Елена Никифоровна

Технология, конструкции и методы моделирования кремниевых интегральных микросхем: учебное пособие для вузов: в 2 ч./
by: Королев, М. А. Михаил Александрович, et al.
Published: (2012)

Ионное травление микроструктур: научное издание/
by: Данилин Борис Степанович, et al.
Published: (1979)

Ионно-плазменные технологии в производстве СБИС: Учебное пособие/
by: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Published: (2000)

Формирование пористого кремния методами металл-стимулированного химического травления и электрохимического травления
by: Круковский, Константин Витальевич

Учебное пособие по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике"
by: Голишников, Александр Анатольевич
Published: (2011)

Ионное травление микроструктур
by: Данилин, Борис Степанович
Published: (1979)

Лабораторный практикум по дисциплине "Плазменные технологии в наноэлектронике" [по направлению 210100 "Электроника и наноэлектроника"]
by: Голишников, Александр Анатольевич
Published: (2011)

Травление на металлообрабатывающих заводах
by: Мастерков, Тимофей Андреевич
Published: (1942)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий в 2 т.
Published: (2010)

Травление кристаллов Теория. Эксперимент. Применение
by: Сангвал, Кешра
Published: (1990)

Травление металлов учебное пособие для подготовки рабочих на пр-ве
by: Ямпольский, Анатолий Михайлович
Published: (1980)

Травление кристаллов: Теория, эксперимент, применение: Пер. с англ./
by: Сангвал, К. Кешра
Published: (1990)

Оборудование для плазменной обработки материалов изделий электронной техники (по данным отечественной и зарубежной печати за 1980-1987 гг.)
by: Таран, Владимир Маркович
Published: (1987)

О природе трещин на примере монокристаллического кремния, подвергнутого анодному травлению

Background donor concentration in HgCdTe

Ion implantation and ion milling in MBE Hg1-xCdxNe films

Численное моделирование радиального плазмохимического реактора
by: Григорьев, Юрий Николаевич

The surface roughening of GaN by wet chemical etching

Проблемы микроэлектронной технологии Сборник статей
Published: (1994)

Изменение поверхности монокристаллов антрацена в процессе травления

Лазерные микротехнологии и их применения в электронике: научное издание/
by: Альтудов, Ю. К. Юрий Камбулатович, et al.
Published: (2001)

Изучение развития анодного растворения гетерофазного электрода путем анализа изображений поверхности
by: Тарасова, Н. В.

Исследование и разработка технологических процессов внутреннего монтажа бескорпусных микросхем на основе полиимидных микроструктур для производства высокоинтегрированных микросборок: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 05.27.06/
by: Вертянов, Д. В. Денис Васильевич
Published: (2020)

Долговременная стабильность CdHgTe n+-n-структур, сформированных ионным травлением

Формирование шероховатости на поверхности нитрида галлия
by: Засухин, Дмитрий Иннокентьевич

Математическое моделирование процессов травления
by: Ивашковская, И. С.

Формирование морфологии на поверхности n-GaN методом жидкостного химического травления
by: Засухин, Дмитрий Иннокентьевич