Особенности применения плазменных технологий для формирования наноразмерных элементов плазмоники и гетероструктурных свч транзисторов: диссертация ... кандидата технических наук: 01.04.04/

Библиографическая информация
Главный автор: Филлипов, И. А. Иван Андреевич (Автор)
Соавтор: Национальный исследовательский Томский государственный университет(Томск)21 Московский государственный технический университет имени Н. Э. Баумана(Москва)21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники(Томск)
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск 2020
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР