Структура и свойства тонких пленок Zro2:Y2O3, формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07/

Структура и свойства тонких пленок Zro2:Y2O3, формируемых методом магнетронного распыления: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07/

Bibliographic Details
Main Author: Шипилова, А. В. Анна Викторовна (Author)
Corporate Author: Институт сильноточной электроники Сибирского отделения Российской академии наук(Томск)21 Институт электрофизики Уральского отделения РАН(Екатеринбург)
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2018
Subjects:
ПРОЦЕСС ИОНИЗАЦИИ
НАГРЕВ ИОНОВ
ИМПУЛЬСНАЯ ГЕНЕРАЦИЯ
СПЕКТРАЛЬНЫЕ ХАРАКТЕРИСТИКИ
МАТЕМАТИЧЕСКАЯ МОДЕЛЬ
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01008716973?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Internet

https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01008716973?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items