Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками: дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/

Bibliographic Details
Main Author: Юшков, Ю.Г. Юрий Георгиевич (Author)
Other Authors: Окс, Е. М. Ефим Михайлович
Format: Book
Language:Russian
Published: Томск 2021
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 01546nam a2200253 i 4500
001 LibTUSUR0000076634
008 210121s2021 ruraaa l000 0yrus d
020 |c р01.00 
040 |a torina 
100 1 |a Юшков, Ю.Г.  |q Юрий Георгиевич  |4 aut 
245 0 0 |a Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками:   |b дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/  |c Ю. Г. Юшков ; науч. конс. Е. М. Окс 
260 |a Томск  |c 2021 
300 |a 321 с.:  |b a-граф. 
504 |a Библиогр.: с. 273-310 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a ВОЗДЕЙСТВИЕ 
653 0 |a ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ СОЕДИНЕНИЯ 
653 0 |a БОРИДЫ МЕТАЛЛОВ 
653 0 |a ТЕМПЕРАТУРНАЯ СТОЙКОСТЬ 
653 0 |a ТЕХНОЛОГИЯ ВЖИГАНИЯ 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h 537  |i Ю 963  |p 460712  |b сбо 
080 |a 537.533 
700 1 |a Окс, Е. М.  |q Ефим Михайлович 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=537/Ю 963-198178