Электронно-лучевое нанесение многофункциональных диэлектрических покрытий форвакуумными плазменными источниками: дисс. на соиск. ученой степ. доктора технич. наук. Спец. 01.04.04 - Физическая электроника/
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
2021
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |