Свойства тонких пленок титана (TiO2) и аморфного углерода (а-С), осажденных с помощью дуальной распылительной системы: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск
2016
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01006649775?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
