Свойства тонких пленок титана (TiO2) и аморфного углерода (а-С), осажденных с помощью дуальной распылительной системы: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07/

Свойства тонких пленок титана (TiO2) и аморфного углерода (а-С), осажденных с помощью дуальной распылительной системы: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.07/

Библиографическая информация
Главный автор:	Юрьев, Ю. Н. Юрий Николаевич (Автор)
Соавтор:	Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск)21 Национальный исследовательский ядерный университет "МИФИ"(М.)
Формат:	Книга
Публикация:	Томск 2016
Предметы:	МАГНЕТРОННОЕ ОСАЖДЕНИЕ ВЛИЯНИЕ ПОТОКА МАГНИТНОЕ ПОЛЕ ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА КАТОДНЫЕ УЗЛЫ
Online-ссылка:	https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01006649775?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Свойства тонких плёнок оксида титана (TiO[2]) и аморфного углерода (а-С), осаждённых с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Юрьев, Ю. Н. специалист в области водородной энергетики заведующий лабораторией Томского политехнического университета, младший научный сотрудник 1984-
Публикация: (2016)

Свойства тонких пленок оксида титана (TiO2) и аморфного углерода (a-C), осажденных с помощью дуальной магнетронной распылительной системы автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук : 01.04.07
по: Юрьев, Юрий Николаевич
Публикация: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Свойства пленок TiO2 на кремниевых подложках

Ионно-магнетронное формирование многослойных нанокомпозитных покрытий на оптических элементах космических аппаратов

Структура и адгезионная прочность покрытий, полученных методами магнетронного осаждения тантала на поверхности TiNi
по: Гудимова, Екатерина Юрьевна

Effect of short-pulsed ion irradiation on the optical and electrical properties of titanium nitride films deposited by reactive magnetron sputtering

Влияние режимов магнетронного осаждения на элементный состав и морфологические особенности роста покрытий системы Ti-Al-Si-Cu-N
по: Галанов, Данил Павлович

Исследование структурно-фазового состояния и свойств ударопрочных защитных покрытий системы Zr-Y-O на подложках Si

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Публикация: (2017)

Смачиваемость поверхности тонких пленок на основе силикатсодержащего гидроксиапатита, полученных методом ВЧ-магнетронного распыления

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Шипилова, А. В. специалист в области водородной энергетики научный сотрудник Томского политехнического университета 1982-
Публикация: (2018)

Изменение структуры и коррозионной стойкости никель-хромового покрытия на нержавеющей стали при имплантации ионов Al+ и B+ высокой энергии

Оптически прозрачные защитные покрытия, формируемые на стеклах методами ионного и магнетронного распыления для космических применений

Влияние режимов ВЧ магнетронного напыления на свойства тонких пленок диоксида олова

Физико-механические свойства и структура пленок диоксида и оксинитрида титана, осажденных методом реактивного магнетронного распыления диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Киселева, Е. С. физик старший преподаватель Томского политехнического университета, кандидат физико-математических наук 1982-
Публикация: (2016)

Структура и свойства тонких пленок ZrO[2]:Y[2]O[3], формируемых методом магнетронного распыления автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Шипилова, А. В. специалист в области водородной энергетики научный сотрудник Томского политехнического университета 1982-
Публикация: (2018)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Публикация: (2017)

Влияние добавок Pt, Pd, Au на поверхности и в объеме тонких пленок диоксида олова на электрические и газочувствительные свойства

Фотолюминесцения и ЭПР пленок аморфного гидрогенизированного углерода
по: Азизханова, Г. А.

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине диссертация на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Публикация: (2017)

Синтез однослойных ZrN-покрытий вакуумно-дуговым плазменно-ассистированным методом с фильтрацией плазменного потока

Стабильность характеристик сенсоров водорода на основе тонких пленок Pt/Pd/Sn02:Sb,Y
по: Ким, Станислав Витальевич

Физико-химические основы технологии полупроводниковых материалов и структур: учебное пособие/
по: Битнер, Л. Р.
Публикация: (2010)

Свойства пленок нитрида титана, полученных методом магнетронного распыления

Исследование процесса роста и анализ структуры тонких, наклонно осаждаемых пленок
по: Беляев, Борис Афанасьевич

Структурные особенности и свойства азотсодержащих тонких плёнок диоксида титана, сформированных методом реактивного магнетронного распыления, для применения в биомедицине автореферат диссертации на соискание ученой степени кандидата физико-математических наук спец. 01.04.07
по: Пустовалова, А. А. биофизик инженер Томского политехнического университета 1989-
Публикация: (2017)

Осаждение покрытий из хрома и никеля с помощью магнетронного диода с "горячей" мишенью диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук спец. 01.04.07
по: Сиделёв, Д. В. физик инженер кафедры Томского политехнического университета 1991-
Публикация: (2018)

Синтез и свойства покрытий на основе титана, осажденных в плазме магнетронного разряда диссертация на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 05.17.02
по: Бойцова, Е. Л. физик доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук 1975-
Публикация: (2020)

Введение в процессы интегральных микро- и нанотехнологий: учебное пособие для вузов: в 2 т./
по: Акуленок, М. В. Марина Викторовна, et al.
Публикация: (2011)

Синтез и свойства покрытий на основе титана, осажденных в плазме магнетронного разряда автореферат диссертации на соискание учёной степени кандидата технических наук спец. 05.17.02
по: Бойцова, Е. Л. физик доцент Томского политехнического университета, кандидат технических наук 1975-
Публикация: (2020)

Низкотемпературная плазма
по: Зимин, Александр Михайлович, et al.
Публикация: (1993)

Собрание трудов
по: Бонч-Бруевич, Михаил Александрович 1988-1940
Публикация: (1956)

Структурные изменения в тонких кальций-фосфатных пленках на титане при термической обработке

Электрические и газочувствительные характеристики сенсоров NO2 на основе тонких пленок WO3, легированных примесью золота
по: Рудов, Федор Валентинович