Источники широких пучков ионов газов на основе тлеющего разряда для технологических применений: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.13/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Екатеринбург
2013
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01005537735?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
