Источники широких пучков ионов газов на основе тлеющего разряда для технологических применений: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.13/

Bibliographic Details
Main Author: Емлин, Д. Р. Даниил Рафаилович (Author)
Corporate Author: Институт электрофизики Уральского отделения РАН(Екатеринбург)21 Национальный исследовательский Томский политехнический университет(Томск)
Format: Book
Published: Екатеринбург 2013
Subjects:
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01005537735?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:26 с.: a-рис.