Источники широких пучков ионов газов на основе тлеющего разряда для технологических применений: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 01.04.13/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Екатеринбург
2013
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01005537735?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 26 с.: a-рис. |
|---|