Пропуск в контексте
  • Язык
    • English
    • Русский

Расширенный поиск
  • Современные технологии микро-...
  • Цитировать
  • Печать
  • Запись для экспорта
    • Экспорт в RefWorks
    • Экспорт в EndNoteWeb
    • Экспорт в EndNote
  • Permanent link
Современные технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие/

Современные технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие/

Библиографическая информация
Главные авторы: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Автор), Чистоедова, И. А. Инна Анатольевна (Автор)
Соавтор: Минобрнауки России(М.)21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Другие авторы: Кривобоков, В. П., Шестериков, Е. В.
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск: Издательство ТУСУРа 2020
Предметы:
УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
МОП-ТРАНЗИСТОРЫ
МАСШТАБИРОВАНИЕ
СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ
ПОЛУПРОВОДНИКИ
ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ
ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ
ТРАВЛЕНИЕ
ОСАЖДЕНИЕ
МЕТАЛЛЫ
ДИЭЛЕКТРИКИ
ПЛАНАРИЗАЦИЯ РЕЛЬЕФА
КРЕМНИЙ
МЕЖУРОВНЕВАЯ РАЗВОДКА
СИСТЕМЫ НА КРИСТАЛЛЕ
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
  • Фонды
  • Описание
  • Похожие документы
  • Marc-запись

Internet

Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы

  • Технология СБИС: Учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
    Публикация: (2007)
  • Технологии кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
    Публикация: (2011)
  • Технология кремниевой наноэлектроники: учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
    Публикация: (2015)
  • Процессы микро- и нанотехнологии: учебное пособие для вузов/
    по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
    Публикация: (2005)
  • Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
    по: Данилина, Т. И., et al.
    Публикация: (2010)
|   Расширенный поиск   |   Советы для поиска   |

Большой университет Томска
https://university-tomsk.ru/
Загрузка...