Современные технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие/
| Главные авторы: | , |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Другие авторы: | , |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Томск:
Издательство ТУСУРа
2020
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Объем: | 340 с.: a-граф. |
|---|---|
| Библиография: | Библиогр.: с. 334-337 |
| ISBN: | 978586889903-4 |
