Современные технологии микро- и наноэлектроники: учебное пособие/

Bibliographic Details
Main Authors:	Данилина, Т. И. Тамара Ивановна (Author), Чистоедова, И. А. Инна Анатольевна (Author)
Corporate Author:	Минобрнауки России(М.)21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Other Authors:	Кривобоков, В. П., Шестериков, Е. В.
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Томск: Издательство ТУСУРа 2020
Subjects:	УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ МОП-ТРАНЗИСТОРЫ МАСШТАБИРОВАНИЕ СУБМИКРОННАЯ ЛИТОГРАФИЯ ПОЛУПРОВОДНИКИ ИОННОЕ ЛЕГИРОВАНИЕ ТЕРМИЧЕСКИЙ ОТЖИГ ТРАВЛЕНИЕ ОСАЖДЕНИЕ МЕТАЛЛЫ ДИЭЛЕКТРИКИ ПЛАНАРИЗАЦИЯ РЕЛЬЕФА КРЕМНИЙ МЕЖУРОВНЕВАЯ РАЗВОДКА СИСТЕМЫ НА КРИСТАЛЛЕ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items