|
|
|
|
| LEADER |
02737nam a2200457 i 4500 |
| 001 |
LibTUSUR0000078822 |
| 008 |
211222s2021 ru_aa l000 0yrus d |
| 020 |
|
|
|a 978586889937-9
|
| 040 |
|
|
|a torina
|b rus
|
| 100 |
1 |
|
|a Орликов, Л. Н.
|q Леонид Николаевич
|4 aut
|
| 245 |
0 |
0 |
|a Основы вакуумных технологий:
|b учебное пособие/
|c Л. Н. Орликов ; рец.: С. А. Гынгазов, С. М. Шандаров; Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
|
| 260 |
|
|
|a Томск:
|b Издательство ТУСУРа
|c 2021
|
| 300 |
|
|
|a 123 с.:
|b a-рис.
|
| 504 |
|
|
|a Библиогр.: с. 119
|
| 535 |
2 |
|
|a Библиотека ТУСУР
|d https://lib.tusur.ru
|
| 653 |
0 |
|
|a УЧЕБНЫЕ ПОСОБИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a ПЛЕНОЧНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
|
| 653 |
0 |
|
|a ТЕЧЕНИЕ ГАЗА
|
| 653 |
0 |
|
|a ДИФФУЗИОННЫЕ НАСОСЫ
|
| 653 |
0 |
|
|a МАСЛА
|
| 653 |
0 |
|
|a ПРИБОРОСТРОЕНИЕ
|
| 653 |
0 |
|
|a ГИГИЕНА ПОМЕЩЕНИЙ
|
| 653 |
0 |
|
|a ГИГИЕНА ПЕРСОНАЛА
|
| 653 |
0 |
|
|a ОЧИСТКА ВОЗДУХА
|
| 653 |
0 |
|
|a ТРАВЛЕНИЕ
|
| 653 |
0 |
|
|a ЭПИТАКСИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a ЛИТОГРАФИЯ
|
| 653 |
0 |
|
|a ПЛАВКА МАТЕРИАЛОВ
|
| 653 |
0 |
|
|a ЭЛЕКТРОННО-ЛУЧЕВАЯ ОБРАБОТКА
|
| 653 |
0 |
|
|a НАНОПОРОШКИ
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.5
|i О-662
|p 462267
|b счз1
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.5
|i О-662
|p 462314
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.5
|i О-662
|p 462315
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.5
|i О-662
|p 463225
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.5
|i О-662
|p 463226
|b аунл
|
| 852 |
|
|
|a Библиотека ТУСУР
|h 621.5
|i О-662
|p 463227
|b аунл
|
| 080 |
|
|
|a 621.52(075.8)
|
| 700 |
1 |
|
|a Гынгазов, С. А.
|
| 700 |
1 |
|
|a Шандаров, С. М.
|
| 710 |
2 |
1 |
|a Министерство науки и высшего образования Российской Федерации21
|a Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
|
| 856 |
|
|
|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=621.5/О-662-212976
|
