Основы вакуумных технологий: учебное пособие/
| Главный автор: | Орликов, Л. Н. Леонид Николаевич (Автор) |
|---|---|
| Соавтор: | Министерство науки и высшего образования Российской Федерации21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники |
| Другие авторы: | Гынгазов, С. А., Шандаров, С. М. |
| Формат: | Книга |
| Публикация: |
Томск:
Издательство ТУСУРа
2021
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
Похожие документы
-
Процессы и установки электронно-ионной технологии: учебное пособие для вузов/
по: Попов, В. Ф. Владимир Федорович, et al.
Публикация: (1988) -
Гигиена. Курс общественного здравоохранения
по: Доброславин, Алексей Петрович 1842-1889
Публикация: (1889) -
Теоретический анализ механических характеристик биметаллических композитов, получаемых методом электронно-лучевого аддитивного производства из металлических филаментов
по: Григорьев, Александр Сергеевич -
Оборудование для создания и исследования свойств объектов наноэлектроники: учебное пособие/
по: Данилина, Т. И. Тамара Ивановна, et al.
Публикация: (2011) -
Основы технологии сверхбольших интегральных схем: Пер. с яп./
по: Таруи, Я. Ясуо
Публикация: (1985)
