Улучшение метрологических и эксплутационных характеристик преобразователей давления на основе структур "Кремний на сапфире": автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 05.13.05/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Ульяновск
2021
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01010936529?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |