Программно-аппаратный комплекс автоматизированного визуального контроля при производстве монолитных интегральных схем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 2.3.3 - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Томск
2022
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |