Программно-аппаратный комплекс автоматизированного визуального контроля при производстве монолитных интегральных схем: диссертация на соискание ученой степени кандидата технических наук. Спец. 2.3.3 - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами/

Библиографическая информация
Главный автор: Ширяев, Б. В. Борис Владимирович (Автор)
Соавтор: ФГБОУ ВО Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники21 АО "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов"
Другие авторы: Шурыгин, Ю. А. Юрий Алексеевич
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Томск 2022
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:155 с.: a-цв. ил.
Библиография:Библиогр.: с. 121-132