Современные микро- и нанотехнологии: учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника"/

Bibliographic Details
Main Author:	Чистоедова, И. А. Инна Анатольевна (Author)
Corporate Author:	Министерство науки и высшего образования Российской Федерации(М.)21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Other Authors:	Мостовщиков, А. В., Коханенко, А. П.
Format:	Book
Published:	Томск: Издательство ТУСУРа 2022
Subjects:	УЧЕБНЫЕ ИЗДАНИЯ МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОСОБИЯ САМОСТОЯТЕЛЬНЫЕ РАБОТЫ СУБМИКРОНЫ ПРОЕКЦИОННАЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ГЕТЕРОБИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ ДИЭЛЕКТРИКИ РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
Online Access:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Similar Items