Современные микро- и нанотехнологии: учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника"/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | , |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск:
Издательство ТУСУРа
2022
|
| Subjects: | |
| Online Access: | Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
| Physical Description: | 56 с.: a-рис. |
|---|---|
| Bibliography: | Библиогр.: с. 50-51 |
| ISBN: | 978586889976-8 |
