Современные микро- и нанотехнологии: учебно-методическое пособие по аудиторным практическим занятиям и самостоятельной работе для магистрантов по направлению 11.04.04 "Электроника и наноэлектроника"/

Библиографическая информация
Главный автор:	Чистоедова, И. А. Инна Анатольевна (Автор)
Соавтор:	Министерство науки и высшего образования Российской Федерации(М.)21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Другие авторы:	Мостовщиков, А. В., Коханенко, А. П.
Формат:	Книга
Публикация:	Томск: Издательство ТУСУРа 2022
Предметы:	УЧЕБНЫЕ ИЗДАНИЯ МЕТОДИЧЕСКИЕ ПОСОБИЯ САМОСТОЯТЕЛЬНЫЕ РАБОТЫ СУБМИКРОНЫ ПРОЕКЦИОННАЯ ФОТОЛИТОГРАФИЯ ИОННАЯ ИМПЛАНТАЦИЯ ИНТЕГРАЛЬНЫЕ СХЕМЫ ГЕТЕРОБИПОЛЯРНЫЕ ТРАНЗИСТОРЫ ДИЭЛЕКТРИКИ РАДИАЦИОННЫЕ ДЕФЕКТЫ
Online-ссылка:	Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Похожие документы