Автоматизация технологического процесса нанесения фоторезиста на основе моделей и методов цифрового управления: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 1.3.4/
| Главный автор: | |
|---|---|
| Соавтор: | |
| Формат: | Книга |
| Язык: | Russian |
| Публикация: |
Воронеж
2023
|
| Предметы: | |
| Online-ссылка: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01011625824?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |
