Автоматизация технологического процесса нанесения фоторезиста на основе моделей и методов цифрового управления: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 1.3.4/

Автоматизация технологического процесса нанесения фоторезиста на основе моделей и методов цифрового управления: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 1.3.4/

Bibliographic Details
Main Author: Белоусова, О. В. Олеся Владимировна (Author)
Corporate Author: Международный институт компьютерных технологий(Воронеж) кафедра электроэнергетики
Format: Book
Language:Russian
Published: Воронеж 2023
Subjects:
ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
КОНТРОЛЬ ПОДОГРЕВА
СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ
ЛИНЕЙНЫЙ РОСТ
МОДУЛИ ОБОРУДОВАНИЯ
НАУЧНОЕ ИЗДАНИЕ
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01011625824?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Description
Physical Description:20 с.

Similar Items