Автоматизация технологического процесса нанесения фоторезиста на основе моделей и методов цифрового управления: автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 1.3.4/

Bibliographic Details
Main Author:	Белоусова, О. В. Олеся Владимировна (Author)
Corporate Author:	Международный институт компьютерных технологий(Воронеж) кафедра электроэнергетики
Format:	Book
Language:	Russian
Published:	Воронеж 2023
Subjects:	ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ КОНТРОЛЬ ПОДОГРЕВА СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ ЛИНЕЙНЫЙ РОСТ МОДУЛИ ОБОРУДОВАНИЯ НАУЧНОЕ ИЗДАНИЕ
Online Access:	https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01011625824?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР


LEADER	01804nam a2200253 i 4500
001	LibTUSUR0000082922
008	201102s2023 ru_ l000 0yrus d
040			\|a torinatorina \|b rus
100	1		\|a Белоусова, О. В. \|q Олеся Владимировна \|4 aut
245	0	0	\|a Автоматизация технологического процесса нанесения фоторезиста на основе моделей и методов цифрового управления: \|b автореферат диссертации ... кандидата технических наук: 1.3.4/ \|c О. В. Белоусова; Международный институт компьютерных технологий (Воронеж), кафедра электроэнергетики
260			\|a Воронеж \|c 2023
300			\|a 20 с.
535	2		\|a Библиотека ТУСУР \|d https://lib.tusur.ru
653	0		\|a ПРОГРАММНОЕ ОБЕСПЕЧЕНИЕ
653	0		\|a КОНТРОЛЬ ПОДОГРЕВА
653	0		\|a СИСТЕМЫ УПРАВЛЕНИЯ
653	0		\|a ЛИНЕЙНЫЙ РОСТ
653	0		\|a МОДУЛИ ОБОРУДОВАНИЯ
653	0		\|a НАУЧНОЕ ИЗДАНИЕ
852			\|a Библиотека ТУСУР \|h А \|i Б 438 \|p 463997 \|b сбо
080			\|a 681.5
710	2	1	\|a Международный институт компьютерных технологий(Воронеж) \|b кафедра электроэнергетики
856	4		\|u https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01011625824?page=1&rotate=0&theme=white
856			\|y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР \|u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=А/Б 438-616115

Similar Items