Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат ... кандидата технических наук: 1.3.8/

Bibliographic Details
Main Author:	Прокопьев, А. Р. Айсен Русланович (Author)
Corporate Author:	Северо - Восточный федеральный университет имени М. К. Аммосова(Якутск)21 Томский политехнический университет(Томск)
Other Authors:	Неустроев, Е. П. Ефим Петрович
Format:	Book
Published:	Томск 2023
Subjects:	НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ АВТОРЕФЕРАТЫ МЕТОДИКИ СИНТЕЗА ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ ПОДЛОЖКИ СПЕКТРОСКОПИЯ ТЕРМООБРАБОТКА
Online Access:	https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01012032577?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР

Description
Physical Description:	19 с.: a-табл.

Similar Items