Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат ... кандидата технических наук: 1.3.8/
| Main Author: | |
|---|---|
| Corporate Author: | |
| Other Authors: | |
| Format: | Book |
| Published: |
Томск
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01012032577?page=1&rotate=0&theme=white Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР |