Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой: автореферат ... кандидата технических наук: 1.3.8/

Bibliographic Details
Main Author: Прокопьев, А. Р. Айсен Русланович (Author)
Corporate Author: Северо - Восточный федеральный университет имени М. К. Аммосова(Якутск)21 Томский политехнический университет(Томск)
Other Authors: Неустроев, Е. П. Ефим Петрович
Format: Book
Published: Томск 2023
Subjects:
Online Access:https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01012032577?page=1&rotate=0&theme=white
Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
LEADER 02093nam a2200277 i 4500
001 LibTUSUR0000085241
008 201102s2023 ru_aa l000 0yrus d
040 |a torina  |b rus 
100 1 |a Прокопьев, А. Р.  |q Айсен Русланович  |4 aut 
245 0 0 |a Синтез и исследование свойств тонких углеродных пленок, полученных методом осаждения в плазме CH4 и последующей термообработкой:   |b автореферат ... кандидата технических наук: 1.3.8/  |c А. Р. Прокопьев ; науч. рук. Е. П. Неустроев; Северо - Восточный федеральный университет им. М. К. Аммосова (Якутск), Томский политехнический университет (Томск) 
260 |a Томск  |c 2023 
300 |a 19 с.:  |b a-табл. 
535 2 |a Библиотека ТУСУР  |d https://lib.tusur.ru 
653 0 |a НАУЧНЫЕ ИЗДАНИЯ 
653 0 |a АВТОРЕФЕРАТЫ 
653 0 |a МЕТОДИКИ СИНТЕЗА 
653 0 |a ОПТИЧЕСКИЕ СВОЙСТВА 
653 0 |a ТВЕРДОТЕЛЬНЫЕ ПОДЛОЖКИ 
653 0 |a СПЕКТРОСКОПИЯ 
653 0 |a ТЕРМООБРАБОТКА 
852 |a Библиотека ТУСУР  |h А  |i П 804  |p 464465  |b сбо 
080 |a 533.924:538.911(043.3) 
700 1 |a Неустроев, Е. П.  |q Ефим Петрович 
710 2 1 |a Северо - Восточный федеральный университет имени М. К. Аммосова(Якутск)21  |a Томский политехнический университет(Томск) 
856 4 |u https://viewer.rsl.ru/ru/rsl01012032577?page=1&rotate=0&theme=white 
856 |y Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР  |u https://lib.tusur.ru/irbis-new/i64r_15/cgiirbis_64.exe?Z21ID=&P21DBN=LIB&I21DBN=LIB&S21FMT=fullwebr&C21COM=S&2_S21P02=0&2_S21P03=I=&2_S21STR=А/П 804-545450903