Программно-аппаратный комплекс автоматизации технологического процесса зондового контроля электрических параметров интегральных схем: дис. на соиск. ученой степ. канд. технич. наук. Спец. 2.3.3 - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами/

Bibliographic Details
Main Author: Аргунов, Д. П. Дмитрий Пантелеевич (Author)
Corporate Author: АО "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов"21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Other Authors: Шурыгин, Ю. А. Юрий Алексеевич
Format: Book
Published: Томск 2024
Subjects:
Online Access:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР