Программно-аппаратный комплекс автоматизации технологического процесса зондового контроля электрических параметров интегральных схем: дис. на соиск. ученой степ. канд. технич. наук. Спец. 2.3.3 - Автоматизация и управление технологическими процессами и производствами/

Библиографическая информация
Главный автор: Аргунов, Д. П. Дмитрий Пантелеевич (Автор)
Соавтор: АО "Научно-исследовательский институт полупроводниковых приборов"21 Томский государственный университет систем управления и радиоэлектроники
Другие авторы: Шурыгин, Ю. А. Юрий Алексеевич
Формат: Книга
Публикация: Томск 2024
Предметы:
Online-ссылка:Перейти в каталог Библиотеки ТУСУР
Описание
Объем:120 с.: a-рис.
Библиография:Библиогр.: с. 112-116