Основы автоматизации технологических процессов учебное пособие
Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интеграл...
| Main Author: | |
|---|---|
| Other Authors: | , , |
| Format: | Book |
| Language: | Russian |
| Published: |
Москва
Юрайт
2023
|
| Series: | Профессиональное образование
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://urait.ru/bcode/510505 https://urait.ru/book/cover/06A3ACB6-315F-4403-9EFB-C1B617628E6B |