Основы автоматизации технологических процессов учебное пособие

Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интеграл...

Полное описание

Библиографическая информация
Главный автор: Щагин А. В. Анатолий Васильевич
Другие авторы: Демкин В. И. Василий Иванович, Кононов В. Ю. Владислав Юрьевич, Кабанова А. Б. Алла Борисовна
Формат: Книга
Язык:Russian
Публикация: Москва Юрайт 2023
Серии:Профессиональное образование
Предметы:
Online-ссылка:https://urait.ru/bcode/510505
https://urait.ru/book/cover/06A3ACB6-315F-4403-9EFB-C1B617628E6B

Похожие документы