Основы автоматизации технологических процессов учебное пособие
Учебное пособие посвящено рассмотрению вопросов автоматизации технологических процессов производства изделий микроэлектроники. Авторы сочли целесообразным отразить такие вопросы, как основные технологические процессы обрабатывающей фазы производства изделий микроэлектроники для получения интеграл...
Главный автор: | |
---|---|
Другие авторы: | , , |
Формат: | Книга |
Язык: | Russian |
Публикация: |
Москва
Юрайт
2023
|
Серии: | Профессиональное образование
|
Предметы: | |
Online-ссылка: | https://urait.ru/bcode/510505 https://urait.ru/book/cover/06A3ACB6-315F-4403-9EFB-C1B617628E6B |